Bộ điều khiển nguồn TPM5 Series
-
Bộ điều khiển nguồn TPM5 Series
Bộ điều khiển công suất sê-ri TPM5 áp dụng ý tưởng thiết kế mô-đun và tích hợp tối đa 6 mạch bên trong. Sản phẩm chủ yếu được sử dụng trong lò khuếch tán, PECVD, lò epitaxy, v.v.