Cung cấp năng lượng phún xạ
-
Bộ nguồn phún xạ tần số trung bình dòng MSB
Bộ nguồn RF dòng RHH dựa trên công nghệ tạo RF hoàn thiện để cung cấp cho khách hàng nguồn điện RF có công suất lớn hơn, độ chính xác cao hơn và phản hồi nhanh.Với pha có thể được thiết lập, điều khiển xung, điều chỉnh kỹ thuật số và các chức năng khác.Các lĩnh vực áp dụng: công nghiệp quang điện, công nghiệp màn hình phẳng, công nghiệp bán dẫn, công nghiệp hóa chất, phòng thí nghiệm, nghiên cứu khoa học, sản xuất, v.v.
Các quy trình áp dụng: lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD), khắc plasma, làm sạch plasma, nguồn ion tần số vô tuyến, khuếch tán plasma, phún xạ trùng hợp plasma, phún xạ phản ứng, v.v.
-
Bộ nguồn phún xạ dòng MSD
Bộ nguồn phún xạ DC dòng MSD sử dụng hệ thống điều khiển DC lõi của công ty kết hợp với sơ đồ xử lý hồ quang tuyệt vời, nhờ đó sản phẩm có hiệu suất rất ổn định, độ tin cậy của sản phẩm cao, hư hỏng hồ quang nhỏ và khả năng lặp lại quy trình tốt.Áp dụng giao diện hiển thị tiếng Trung và tiếng Anh, dễ vận hành.