Nó có thể thích ứng với nguồn điện RF dòng RLS và được sử dụng rộng rãi trong khắc plasma, phủ, làm sạch plasma, khử keo plasma và các quy trình khác.Khi sử dụng một mình, nó có thể được sử dụng cùng với nguồn điện RF của nhà sản xuất khác.