Nguồn điện RF dòng RHH

Mô tả ngắn gọn:

Nguồn điện RF dòng RHH dựa trên công nghệ tạo RF trưởng thành để cung cấp cho khách hàng nguồn điện RF có công suất lớn hơn, độ chính xác cao hơn và phản hồi nhanh. Có thể thiết lập pha, điều khiển xung, điều chỉnh kỹ thuật số và các chức năng khác. Các lĩnh vực áp dụng: ngành công nghiệp quang điện, ngành công nghiệp màn hình phẳng, ngành công nghiệp bán dẫn, ngành công nghiệp hóa chất, phòng thí nghiệm, nghiên cứu khoa học, sản xuất, v.v.
Các quy trình áp dụng: lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD), khắc plasma, làm sạch plasma, nguồn ion tần số vô tuyến, khuếch tán plasma, phun trùng hợp plasma, phun phản ứng, v.v.

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Gửi email cho chúng tôi

Đặc trưng

● Kiểu lắp nửa khối và lắp giá đỡ
● Áp dụng điều khiển kỹ thuật số hoàn toàn, với menu thao tác tiện lợi và phong phú
● Chức năng điều chỉnh tần số, xung và đồng bộ xung
● Với chức năng đồng bộ pha CEX
● Chức năng bảo vệ hoàn hảo

Chi tiết sản phẩm

Đầu vào	Điện áp đầu vào: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Có thể tùy chỉnh thông số kỹ thuật đặc biệt)
Đầu vào	Tần số đầu vào: 47~63Hz
Đầu ra	Tần số đầu ra: 13,56MHz、27,12MHz、40,68MHz
	Phạm vi điều chỉnh: ±5%
	Công suất đầu ra: 1.5~5kW
	Phạm vi điều chỉnh công suất đầu ra: 1~100%
	Trở kháng đầu ra: 50Ω+j0
	Giao diện đầu ra: loại N
	Chế độ đầu ra: liên tục, xung
	Tần số xung: 100Hz~100kHz
	Chu kỳ hoạt động: 5~95%
Chỉ số hiệu suất	Hệ số công suất: 0,98
	Độ chính xác ổn định tần số: ±0,005%
	Hiệu suất: 75% (ở công suất định mức)
	Sóng hài: ＜-45dBc
	Lạc: ＜-50dBc
	Giao diện điều khiển bên ngoài: số lượng tương tự, giao tiếp và đồng bộ hóa
	Chế độ truyền thông: Giao diện truyền thông chuẩn RS485; Tùy chọn Ether CAT, Ethernet công nghiệp, v.v.
Lưu ý: sản phẩm tiếp tục đổi mới và hiệu suất tiếp tục được cải thiện. Mô tả thông số này chỉ mang tính chất tham khảo.