Nguồn điện RF
-
Bộ nguồn RF dòng RLS
Bộ nguồn RF dòng RLS sử dụng bộ khuếch đại công suất ổn định và đáng tin cậy hiện tại cũng như hệ thống điều khiển DC lõi của công ty, nhờ đó sản phẩm có hiệu suất rất ổn định và độ tin cậy của sản phẩm cao.Áp dụng giao diện hiển thị tiếng Trung và tiếng Anh, dễ vận hành.Chủ yếu được sử dụng trong ngành quang điện, công nghiệp màn hình phẳng, công nghiệp bán dẫn, công nghiệp hóa chất, phòng thí nghiệm, nghiên cứu khoa học, sản xuất, v.v.
-
Bộ so khớp dòng RMA
Nó có thể thích ứng với nguồn điện RF dòng RLS và được sử dụng rộng rãi trong khắc plasma, phủ, làm sạch plasma, khử keo plasma và các quy trình khác.Khi sử dụng một mình, nó có thể được sử dụng cùng với nguồn điện RF của nhà sản xuất khác.
-
Bộ nguồn RF dòng RHH
Bộ nguồn RF dòng RHH dựa trên công nghệ tạo RF hoàn thiện để cung cấp cho khách hàng nguồn điện RF có công suất lớn hơn, độ chính xác cao hơn và phản hồi nhanh.Với pha có thể được thiết lập, điều khiển xung, điều chỉnh kỹ thuật số và các chức năng khác.Các lĩnh vực áp dụng: công nghiệp quang điện, công nghiệp màn hình phẳng, công nghiệp bán dẫn, công nghiệp hóa chất, phòng thí nghiệm, nghiên cứu khoa học, sản xuất, v.v.
Các quy trình áp dụng: lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD), khắc plasma, làm sạch plasma, nguồn ion tần số vô tuyến, khuếch tán plasma, phún xạ trùng hợp plasma, phún xạ phản ứng, v.v.