Bộ nguồn phún xạ tần số trung bình dòng MSB

Hình ảnh nổi bật của bộ cấp nguồn phún xạ tần số trung bình dòng MSB

Mô tả ngắn:

Bộ nguồn RF dòng RHH dựa trên công nghệ tạo RF hoàn thiện để cung cấp cho khách hàng nguồn điện RF có công suất lớn hơn, độ chính xác cao hơn và phản hồi nhanh.Với pha có thể được thiết lập, điều khiển xung, điều chỉnh kỹ thuật số và các chức năng khác.Các lĩnh vực áp dụng: công nghiệp quang điện, công nghiệp màn hình phẳng, công nghiệp bán dẫn, công nghiệp hóa chất, phòng thí nghiệm, nghiên cứu khoa học, sản xuất, v.v.

Các quy trình áp dụng: lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD), khắc plasma, làm sạch plasma, nguồn ion tần số vô tuyến, khuếch tán plasma, phún xạ trùng hợp plasma, phún xạ phản ứng, v.v.

Chi tiết sản phẩm

Thẻ sản phẩm

Gửi email cho chúng tôi

Đặc trưng

● Kiểu nửa khối và kiểu giá đỡ

● Áp dụng điều khiển kỹ thuật số hoàn toàn, với menu thao tác tiện lợi và phong phú

● Chức năng điều chỉnh tần số, xung và đồng bộ hóa xung

● Với chức năng đồng bộ pha CEX

● Chức năng bảo vệ hoàn hảo

Chi tiết sản phẩm

Đầu vào	Điện áp đầu vào: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (Thông số kỹ thuật đặc biệt có thể được tùy chỉnh)
Đầu vào	Tần số đầu vào: 47~63Hz
đầu ra	Tần số đầu ra: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Phạm vi điều chỉnh: ±5%
	Công suất đầu ra: 1,5 ~ 5kW
	Phạm vi điều chỉnh công suất đầu ra: 1 ~ 100%
	Trở kháng đầu ra: 50Ω+j0
	Giao diện đầu ra: loại N
	Chế độ đầu ra: liên tục, xung
	Tần số xung: 100Hz ~ 100kHz
	Chu kỳ nhiệm vụ: 5 ~ 95%
Chỉ số hiệu suất	Hệ số công suất: 0,98
	Độ chính xác ổn định tần số: ± 0,005%
	Hiệu suất: 75% (ở công suất định mức)
	Điều hòa: ＜-45dBc
	Đi lạc: ＜-50dBc
	Giao diện điều khiển bên ngoài: số lượng analog, giao tiếp và đồng bộ hóa
	Chế độ liên lạc: Giao diện truyền thông RS485 tiêu chuẩn;Tùy chọn Ether CAT, Ethernet công nghiệp, v.v.
Lưu ý: sản phẩm tiếp tục đổi mới và hiệu suất tiếp tục được cải thiện.Mô tả tham số này chỉ mang tính tham khảo.