Bộ nguồn phún xạ tần số trung bình dòng MSB
-
Bộ nguồn phún xạ tần số trung bình dòng MSB
Bộ nguồn RF dòng RHH dựa trên công nghệ tạo RF hoàn thiện để cung cấp cho khách hàng nguồn điện RF có công suất lớn hơn, độ chính xác cao hơn và phản hồi nhanh.Với pha có thể được thiết lập, điều khiển xung, điều chỉnh kỹ thuật số và các chức năng khác.Các lĩnh vực áp dụng: công nghiệp quang điện, công nghiệp màn hình phẳng, công nghiệp bán dẫn, công nghiệp hóa chất, phòng thí nghiệm, nghiên cứu khoa học, sản xuất, v.v.
Các quy trình áp dụng: lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD), khắc plasma, làm sạch plasma, nguồn ion tần số vô tuyến, khuếch tán plasma, phún xạ trùng hợp plasma, phún xạ phản ứng, v.v.