Nguồn điện phun tần số trung bình MSB Series
-
Nguồn điện phun tần số trung bình MSB Series
Nguồn điện RF dòng RHH dựa trên công nghệ tạo RF trưởng thành để cung cấp cho khách hàng nguồn điện RF có công suất lớn hơn, độ chính xác cao hơn và phản hồi nhanh. Có thể thiết lập pha, điều khiển xung, điều chỉnh kỹ thuật số và các chức năng khác. Các lĩnh vực áp dụng: ngành công nghiệp quang điện, ngành công nghiệp màn hình phẳng, ngành công nghiệp bán dẫn, ngành công nghiệp hóa chất, phòng thí nghiệm, nghiên cứu khoa học, sản xuất, v.v.
Các quy trình áp dụng: lắng đọng hơi hóa học tăng cường plasma (PECVD), khắc plasma, làm sạch plasma, nguồn ion tần số vô tuyến, khuếch tán plasma, phun trùng hợp plasma, phun phản ứng, v.v.