lắng đọng
Đạt được những hiểu biết sâu sắc và tăng tốc quá trình phát triển.
Advanced Energy cung cấp các giải pháp điều khiển và cung cấp điện cho các ứng dụng lắng đọng màng mỏng quan trọng và hình dạng thiết bị.Để giải quyết các thách thức về xử lý tấm bán dẫn, các giải pháp chuyển đổi năng lượng chính xác của chúng tôi cho phép bạn tối ưu hóa độ chính xác, độ chính xác, tốc độ và độ lặp lại của quy trình.
Chúng tôi cung cấp nhiều loại tần số RF, hệ thống nguồn DC, mức công suất đầu ra tùy chỉnh, công nghệ phù hợp và các giải pháp giám sát nhiệt độ cáp quang thực sự cho phép bạn kiểm soát quy trình plasma tốt hơn.Chúng tôi cũng tích hợp Fast DAQ™ và bộ thu thập dữ liệu và khả năng truy cập của chúng tôi để cung cấp thông tin chi tiết về quy trình và tăng tốc quá trình phát triển.
Tìm hiểu thêm về quy trình sản xuất chất bán dẫn của chúng tôi để tìm giải pháp phù hợp với nhu cầu của bạn.
Thử thách của bạn
Từ các màng được sử dụng để tạo mẫu kích thước mạch tích hợp đến màng dẫn điện và cách điện (cấu trúc điện), đến màng kim loại (kết nối), quy trình lắng đọng của bạn yêu cầu kiểm soát ở cấp độ nguyên tử — không chỉ đối với từng tính năng mà trên toàn bộ tấm bán dẫn.
Ngoài cấu trúc, phim ký gửi của bạn phải có chất lượng cao.Chúng cần phải có cấu trúc hạt, độ đồng đều và độ dày phù hợp mong muốn, đồng thời không có khoảng trống - ngoài ra còn phải cung cấp các ứng suất cơ học cần thiết (nén và kéo) và các đặc tính điện.
Sự phức tạp chỉ tiếp tục tăng lên.Để giải quyết các hạn chế về kỹ thuật in thạch bản (nút dưới 1X nm), các kỹ thuật tạo khuôn đôi và bốn tự liên kết yêu cầu quá trình lắng đọng của bạn tạo ra và tái tạo mẫu trên mỗi tấm bán dẫn.
Giải pháp của chúng tôi
Khi triển khai các ứng dụng lắng đọng và hình học thiết bị quan trọng nhất, bạn cần có công ty dẫn đầu thị trường đáng tin cậy.
Công nghệ kết hợp tốc độ cao và cung cấp năng lượng RF của Advanced Energy cho phép bạn tùy chỉnh và tối ưu hóa độ chính xác, độ chính xác, tốc độ và độ lặp lại của quy trình cần thiết cho tất cả các quy trình lắng đọng PECVD và PEALD nâng cao.
Sử dụng công nghệ máy phát điện DC của chúng tôi để tinh chỉnh phản ứng hồ quang có thể định cấu hình, độ chính xác về công suất, tốc độ và độ lặp lại của quy trình được yêu cầu trong các quy trình lắng đọng PVD (phùn xạ) và ECD.
Những lợi ích
● Tăng cường độ ổn định của huyết tương và độ lặp lại của quy trình giúp tăng năng suất
● Phân phối RF và DC chính xác với điều khiển kỹ thuật số hoàn chỉnh giúp tối ưu hóa hiệu quả quy trình
● Phản ứng nhanh với những thay đổi của plasma và quản lý hồ quang
● Xung đa cấp với tính năng điều chỉnh tần số thích ứng giúp cải thiện khả năng chọn lọc tốc độ ăn mòn
● Hỗ trợ toàn cầu luôn sẵn sàng để đảm bảo thời gian hoạt động và hiệu suất sản phẩm tối đa